Electro-Hydro-Dynamic-Force-Driven Filling Method for Through Polymer Substrates Via With Ag-Based Conductive Epoxy
Pourquoi ce travail est dans la base
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Notice bibliographique
Résumé
Through polymer substrates via (TPSV) plays an important role in system integration for not only silicon-based devices but also emerging flexible electronics implemented with polymer substrates. Conventional electroplating approach for filling TPSVs encounters high cost and environmental issues such as complex preprocessing, long deposition time, heavy metal ions, and pollutant side-products from the electrolytes. To tackle these challenges, this work presents an electro-hydro-dynamic-force (EHDF) driven filling method for TPSVs with conductive polymers. A customized bench-top setup is implemented to demonstrate the feasibility of the filling method. The proposed EHDF-driven filling technique can fill TPSVs of various aspect ratios (ARs) completely within 1 min, utilizing electrostatic fields. We established an empirical model for the correlation of the driving voltage and filling depth for various substrate thicknesses and TPSVs ARs. The experimental results show that the resistance of filled TPSVs is proportional to their AR. The lowest resistance is about <inline-formula xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink"> <tex-math notation="LaTeX">$1~\Omega $ </tex-math></inline-formula> for the TPSV with an AR of 1. The conductive property of EHDF-filled TPSVs is only limited by the intrinsic resistivity of the filler material, therefore, demonstrating promising application potentials in emerging devices integration.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle