Modelling and dynamic analysis of a MEMS ring resonator supported by circular curved shaped inner beams
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Microelectromechanical systems (MEMS) based ring shaped resonators usually have a ring supported by spoke shaped springs. In this paper, we developed a general analytical model that can determine the natural frequency of any MEMS ring resonator considering effective mass and stiffness of spokes in both radial and tangential displacements. Our model is also able to determine the stiffness of the circular curved beam with arbitrary central angle. The well-known energy based Castigliano’s method was used to calculate the stiffness of a circular curved beam considering both flexural and axial rigidities. The stiffness of a circular curved beam with different central angles was determined and compared with the literature and finite element method (FEM). The results show that for the case of a central angle of the curved beam larger than 60 degrees, the deviation between the FEM and analytical approach is less than 1%. The potential energy and kinetic energy of the outside ring and spokes were determined based on the displacement function. The natural frequency of a ring resonator with different number of circular curved beams in the form of petals in modes n = 2 and n = 3 were determined and the results were compared with a numerical approach using FEM. The deviations between the analytical approach and numerical method are less than 4%.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».