Facile integration of electro-optic SiO<sub>2</sub>/ITO heterointerfaces in MIS structures for CMOS-compatible plasmonic waveguide modulation
Notice bibliographique
Résumé
By taking advantage of the absence of diffraction limit restrictions in plasmonic structures, strong modal confinement is made possible, paving the way for improved optical processes and miniaturized photonic circuit integration.Indium tin oxide (ITO) has emerged as a promising plasmonic material that serves as a relatively lowcarrier density Drude metal by its electro-optic tunability and versatility as an integrative oxide.We herein demonstrate the facile integration of SiO 2 /ITO heterointerfaces into metal-insulator-semiconductor (MIS) electrooptic structures.The first MIS device employs a SiO 2 /ITO heterostructure grown on thin polycrystalline titanium nitride (poly-TiN) and capped at the ITO side with thin aluminum (Al) film contact electrode.The TiN interlayer acts as a bottom electrode, forming a metal-insulator-semiconductor-metal (MISM) heterojunction device, and grows directly on (100)-oriented silicon (Si).This MISM device enables one to examine the electrical properties of semiconductive ITO layers.The second MIS device incorporates a semiconductive ITO layer with a SiO 2 dielectric spacer implemented on a silicon-on-insulator (SOI) platform, forming a graded-index coupled hybrid plasmonic waveguide (CHPW) modulator.This device architecture represents a crucial step towards realizing plasmonic modulation using oxide materials.The CHPW device performance presented herein provides a proof-of-concept that demonstrates the advantages offered by such device topology to perform optical modulation via charge carrier dispersion.The graded-index CHPW can be dynamically reconfigured for amplitude, phase, or 4-quadrature amplitude modulation utilizing a triode-like biasing strategy.It exhibited extinction ratio (ER) and insertion loss (IL) levels of around 1 dB/μm and 0.128 dB/μm, respectively, for a 10 μm waveguide length.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».