Multiple Moving Membrane Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer With Dynamic Control Provision of Effective Cavity Height
Notice bibliographique
Résumé
A novel biasing scheme having the potential to dynamically control the effective cavity heights of two fabricated, multiple moving membrane capacitive micromachined ultrasonic transducers ($\text{M}^{{3}}$-CMUTs) has been developed. With this unique approach, it may be possible to avoid design tradeoff requirements of the ultrasonic transducers that affect both receiving and transmitting operating modes. Each of these$\text{M}^{{3}}$-CMUTs has two vibrating membranes suspended over a fixed bottom electrode. The two air-coupled$\text{M}^{{3}}$-CMUT devices with the resonant frequencies of 1 MHz single cell and 1.5 MHz array device were fabricated. A finite element analysis (FEA) was carried out to investigate the effect of an additional middle membrane on the effective cavity height and device performance. Experimental validation was then completed with the transducers operating under both positive and negative biasing conditions of middle membrane while keeping the top membrane at selected positive biasing voltages to realize a dynamically controlled range of effective cavity heights. The new biasing scheme may facilitate dynamic tunning of resonant frequencies of transmitter and receiver transducers through the variation of effective cavity height for improved performance.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».