Ultra-Thin Cu Nano-Twinned Films Sputtered On Si Wafers for Low Temperature Hybrid Bonding Of Advanced 3D-IC Packages
Notice bibliographique
Résumé
The nanotwinned structure has been attracting a great deal of attention due to its excellent mechanical and electrical properties.In this study, ultra-thin nanotwinned Cu (nt-Cu) films with a thickness of 1.5 μm were fabricated by DC magnetron sputtering with moderate substrate bias.Within these films, an equiaxed-grain transition layer only 100-400 nm thick formed between the nanotwinned region and Si substrate and was observed by focused ion beam (FIB).The XRD and EBSD analyses indicated that the as-deposited nanotwinned films had a strong (111) preferred orientation.The surface roughness of the films, as measured with an atomic force microscope (AFM), was below 10 nm, which was sufficiently smooth for chip bonding at low temperature with minor pressure.Direct bonding of Si chips sputtered with such ultra-thin nt-Cu films with a (111) preferred orientation has been evidenced to yield a sound interface, and this bonding method can be applied for the manufacturing of 3D-IC packages.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».