High Speed Copper Plating Process for IC Substrate
Notice bibliographique
Résumé
The integrated circuit (IC) substrate occupies an interesting place in electronic devices. They serve as the bridge between the integrated circuits and the PCB. In this connecting point, they must meet the requirements of both worlds. They must provide the high density of connections to match the IC chip, while at the same time be a stable and robust platform for the chip to reside on. The IC substrate feature sizes and uniformity requirements are moving closer to what is required in the semi-conductor industry, except these substrates must be made at a scale, speed, and cost expected in the PCB industry. In this paper, we present an acid copper electrolyte for plating 2 in 1 redistribution layers (RDL), with small vias and fine lines down to 10µm wide. The electrolytic process successfully plates these features, while maintaining a uniform surface across the panel. The 510 mm x 515 mm panel had less than 5% variation in Cu thickness. The electrolyte was evaluated in a vertical continuous plating (VCP) style tool and a tool that plates panels at high speed. The standard VCP tool operated around 1.0 – 3.0 ASD, whereas the high-speed plater operated around 4.5 – 6.5 ASD. The obvious benefit of the high-speed tool was to reduce the plating time, but it also provided new degrees of control that are not available in VCPs. In either tool, the electrolyte performed well and produced uniform deposits that met the physical requirements that IC substrate applications demand.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,006 | 0,003 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».