Silicon Echelles for Soft X-Ray and Extreme UV Radiation: Influence of the Camber of the Reflective Facet on the Diffraction Efficiency
Notice bibliographique
Résumé
Abstract— The influence of the reflective facet parameters, primarily its camber, on the diffraction efficiency of perfect silicon gratings with blaze angles of 3°–4° and a groove density of 500 and 250 mm–1, which are intended for operation in soft X-ray and extreme UV radiation, is studied. The investigated diffraction gratings are fabricated by the wet etching of Si (111) vicinal wafers and characterized by atomic-force microscopy to determine the relief of the grooves. For one of the considered gratings with a Mo/Si multilayer coating, a record-breaking absolute efficiency of ~40% at a wavelength of 13.5 nm in the –8th order of unpolarized radiation was obtained recently. The possibility of achieving high efficiencies of high diffraction orders, with a number of ~10 and more is considered; this means the possibility of unique X-ray echelle fabrication. An estimate of the influence of the introduced camber parameter of the reflected facet on the maximum achievable order number of highly efficient diffraction is obtained. The absolute and relative (grating) efficiencies are determined by simulation using the PCGrate™ code based on the method of boundary integral equations and groove profiles measured using atomic-force microscopy.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».