Fabrication of slanted gratings by using glancing angle deposition
Notice bibliographique
Résumé
Slanted gratings, commonly used for manipulating light in various applications, are typically fabricated using conventional top-down methods. However, these methods have limitations on material choice. This paper explores the use of glancing angle deposition (GLAD) to fabricate slanted gratings with various materials and slant angles on silicon (Si) and quartz (SiO2) substrates. The process involves the first step of creating a template using electron beam lithography, lift-off, and dry etching, and the second step of electron beam evaporation at a glancing angle on the prefabricated template. The template consists of grating structures with very shallow trenches. Different materials, such as chromium (Cr), copper (Cu), aluminum oxide (Al2O3), and titanium oxide (TiO2), were used in the GLAD process to create slanted grating structures on Si or SiO2 substrates, showcasing their versatility. Here, the formation of the slanted grating is due to the shadowing effect that leads to deposition onto the protruded grating lines but not into the trench. Using TiO2 as the source material, the GLAD technique can produce slanted gratings with various angles by adjusting the deposition angle. The optical characteristics of the slanted grating prepared using GLAD were verified through simulations with COMSOL software, confirming its excellent light guide performance.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,003 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».