Fabrication of silicon sharp nanocones using dry etch with periodic oxygen plasma shrinking and wet etch
Notice bibliographique
Résumé
Silicon (Si) nanocones have a wide range of applications in microelectromechanical systems and nanoelectromechanical systems. There is an increasing demand for precise control over the size and shape of nanocones. This paper proposed a novel method combining Si dry etch with periodic oxygen plasma shrinking, wet etch, and oxidation sharpening to achieve well-defined sharp Si nanocones. First, the standard Bosch process was employed to create the base part of nanocones. Second, two alternating steps of etching with sulfur hexafluoride/octafluorocyclobutane plasma and photoresist shrinkage with oxygen plasma were used to form the cone-shaped structures on top of the cylindrical bases. Third, to obtain a sharp tip, wet etching was carried out in either potassium hydroxide or a nitric acid/hydrofluoric (HF) acid mixture. To further sharpen the Si tips, thermal oxidation and HF dipping were conducted and the apex of nanocones can be down to 20 nm. This technique provides a cost-effective way to manufacture nanocones for various applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».