Mechanistic study of the atomic layer deposition of cobalt: a combined mass spectrometric and computational approach
Notice bibliographique
Résumé
-butylacetylene (CCTBA) is a conventional precursor for the selective atomic layer deposition of Co onto silicon surfaces. However, a limited understanding of the deposition mechanism of such cobalt precursors curbs rational improvements on their design for increased efficiency and tuneable selectivity. The impact of using a less reactive internal alkyne instead of a terminal alkyne was investigated using experimental and computational methods. Using electrospray-ionization mass spectrometry, the formation of CCTBA analogs and their gas phase decomposition pathways were studied. Decomposition experiments show very similar decomposition pathways between the two complexes. The internal alkyne dissociates from the Co complex at slightly lower energies than the terminal alkyne, suggesting that an internal alkynyl ligand may be more suited to low temperature ALD. In addition, transition state calculations using the nudged elastic band method confirm an increased reaction barrier between the internal alkyne and the Si-H surface bonds on Si(111). These results suggests that using a less reactive internal alkyne will result in fewer embedded carbon impurities during deposition onto Si wafers. DFT calculations using the PBE functional and periodic boundary conditions also predict increased surface binding with the metal centers of the internal alkynyl complex.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».