Blazed Silicon Gratings for Soft X-Ray and Extreme Ultraviolet Radiation: the Effect of Groove Profile Shape and Random Roughness on the Diffraction Efficiency
Notice bibliographique
Résumé
Abstract The effect of the groove profile shape and random roughness of the reflecting facet of five silicon diffraction gratings (1°–4° blaze angle, period 0.4, 1.4, 2, and 4 μm, various coatings) operating in the soft X-ray and extreme ultraviolet radiation ranges on the outflow of the diffraction efficiency from working orders is studied. Diffraction gratings were fabricated by wet etching of Si(111) vicinal wafers and characterized by atomic force microscopy to determine the shape of the groove profile and roughness. The diffraction efficiency of gratings operating in classical and conical diffraction mounts was calculated based on realistic groove profiles by computer simulation using the PCGrateTM code and taking into account the scattering intensity using Nevot–Croce or Debye–Waller corrections or using the Monte Carlo method (rigorously). The effect ofthe groove profile shape and roughness on the diffraction efficiency of the fabricated Si gratings is shown.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».