Wafer-scale porous germanium bilayer structure formation by fast bipolar electrochemical etching
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Notice bibliographique
Résumé
FBEE process: tubular low-porosity layer with limited sponge-like top. Exploring electrolyte composition's impact on tubular porous layer porosity. FBEE process: tubular bilayers at wafer scale. Preservation of the structural integrity of porous bilayers up to 700 °C. Monocrystalline nature of bilayer structures up to 700 °C. Recently, porous Germanium (PGe) structures have gained significant attention as a promising engineering material for a broad range of applications due to the versatility of its intrinsic physical and chemical properties. The Conventional Bipolar Electrochemical Etching (CBEE) technique favours a cost-effective and controlled synthesis of PGe layers, to tune the structural properties. However, some challenges still persist. Specifically, the etch rate of these layers remains low limited, resulting in extended process times. Achieving low porosity layers (< 40 %) remains unclear, and addressing the development of a non-sponge morphology is necessary for various fields, such as batteries. In this work, we investigate the impact of the anodic current density and electrolyte ratio on tubular single PGe layer (T-PGe) morphology with low porosities using a Fast Bipolar Electrochemical Etching (FBEE) process. We have demonstrated T-PGe structures with no parasitic sponge-like layer on top, providing insights to control their occurrence. We establish the feasibility of such layers as a template for the formation of tubular bilayers on the wafer's scale. This approach emphasizes the fast synthesis of promising T-PGe structures with low porosities (< 40 %).
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle