CMOS-compatible Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub>-based ferroelectric memory crosspoints fabricated with damascene process
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract We report the fabrication of Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 (HZO) based ferroelectric memory crosspoints using a complementary metal-oxide-semiconductor-compatible damascene process. In this work, we compared 12 and 56 µ m 2 crosspoint devices with the 0.02 mm 2 round devices commonly used as a benchmark. For all devices, a 9 nm thick ferroelectric thin film was deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on planarized bottom electrodes. The wake-up appeared to be longer for the crosspoint memories compared to 0.02 mm 2 benchmark, while all the devices reached a 2P r value of ∼50 µ C cm −2 after 10 5 cycles with 3 V/10 µ s squared pulses. The crosspoints stand out for their superior endurance, which was increased by an order of magnitude. Nucleation limited switching experiments were performed, revealing a switching time <170 ns for our 12 and 56 µ m 2 devices, while it remained in the µ s range for the larger round devices. The downscaled devices demonstrate notable advantages with a rise in endurance and switching speed.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,007 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,002 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle