High-Resolution Imaging and X-Ray Microanalysis of Oxide at Low Energy using Scanning Electron Microscope and Triple Beam FIB Microscope
Notice bibliographique
Résumé
Information on the presence and concentration of oxygen has always been of great interest to materials scientists. With the increasing demand for advanced materials like high-temperature materials, wear-resistant materials, ceramics, etc which usually contain light elements like oxygen, boron, etc, high resolution analysis of light elements is becoming more and more necessary[2–4]. Accurate X-ray micro-analysis of light elements (Z<10) can be a challenging task due to various reasons like these light elements have only one X-rays line i.e. Kα line with energy below 0.7 KeV, low yield count, back ground, line overlap, high absorption rate, etc. [2,3,5,6]. For this research Hitachi NX5000 FIB-SEM and STEM SU 9000 equipped with Oxford Ultim Extreme windowless EDS detector was used. SU 9000 is a state-of-the-art SEM with cold field emission gun capable of giving us a resolution of 0.4nm at 30KeV but its greatest strength lies in its ability to operate at low voltages (resolution of 1.2nm at 1KeV). Adding to its capability is the Oxford Ultim Extreme windowless EDS detector whose 100mm2 sensor area provides 5 times more solid angle than conventional EDS detector (shown in fig. 1). This detector is designed to offer high spatial resolution at low voltages (1-3KeV) and thanks to its windowless feature has high sensitivity for light elements at low voltages (2.1x for oxygen). To investigate the oxide layer, a lift-out sample was prepared using Hitachi NX5000 FIB-SEM equipped with a Ga ion FIB gun. The different stages of preparation shown in fig.2. The lift-out sample was then analysed using STEM SU9000 at an accelerating voltage of 2.5 KeV. Fig.3 shows the analysis result. An oxide layer of thickness 20nm at the outer layer of the sample was observed. Through the spectrum collected during EDS mapping a 2D quantification map was created using standardless quantification process and oxygen contraction ranging from 8-40% was found. This level of detection capability will enable us to tackle other issues related to low atomic number elements such as quantification. Solid angle comparison Steps taken during preparation of sample using NX5000 FIB SEM Oxide layer detection and standard less quantification.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».