Model-Free Control of a Class of High-Precision Scanning Motion Systems with Piezoceramic Actuators
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
To enhance the precision of coarse long-stroke motion axes, complementary short-stroke fine positioning stages are usually introduced. Being mechanically attached, the motion of the combined positioning stages needs to be controlled and synchronized. Therefore, typically suitable model-based controllers of fine stages are designed according to the sophisticated models and identification techniques used. Due to their appealing features, Piezocermamic-based fine positioning stages were successfully utilized in many applications, which recently sparked their use in high-acceleration motion found in wafer scanners, for example, where high-precision motion is required despite the resulting high inertial forces involved. Unfortunately, hard nonlinear behavior is associated with piezoelectric actuators, which adds to the complexity of modeling, control, and synchronization processes. To overcome such a burden, in this study, the design procedure of a model-free control and synchronization technique of piezocermamic-based fine positioning stages is introduced and verified experimentally using a representative precision motion system comprising a planner stage and a uni-axial fine stage under step-and-scan trajectories commonly used in wafer scanners. Despite its simplicity, the herein proposed design procedure can be seamlessly extended to other robotics and automation applications.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle