TEOS-PECVD Films for High-Quality SiO<sub>2</sub> Cladding Layers in Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>-Photonics with Low Mechanical Stress and Optical Loss
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, we developed a multistep approach for depositing silicon dioxide (SiO2) cladding layers using TEOS-based PECVD. We deposited the SiO2layer in multiple thin steps, separated by annealing time at 1000°C, to gradually increase the thickness and avoid cracking. Our results showed that the SiO2films deposited under different processes had the same stress, and refractive index behavior, as long as the thickness of each step is below a critical thickness (500nm on Si substrate and 300nm on SiO2 substrate); hence, we were able to achieve high coverage and low mechanical stress (-200 MPa) in the deposited SiO2films. RBS results demonstrated the high quality of our TEOS-based oxide without any contamination, contrary to the nitrogen contamination that exists through the whole thickness of the silane-based SiO2films. To demonstrate the effectiveness of our TEOS-PECVD process, we integrated the SiO2cladding layers with silicon nitride (Si3N4) waveguides and the stability of their optical responses at 1550 nm under various annealing steps was confirmed. Our results showed that the SiO2cladding layers provided effective optical confinement, with optical losses around 0.67 dB/cm suitable for high-performance waveguides operating at 1550 nm.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».