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Enregistrement W4401743177 · doi:10.1016/j.matchar.2024.114292

Tailoring Ge membrane adhesion strength: Impact of growth parameters and porous layer thickness

2024· article· en· W4401743177 sur OpenAlexaff
Nicolas Paupy, Ahmed Ayari, Bouraoui Ilahi, Tadeáš Hanuš, Jinyoun Cho, Kristof Dessein, Denis Machon, Richard Arès, Abderraouf Boucherif

Notice bibliographique

RevueMaterials Characterization · 2024
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensInstitut interdisciplinaire d'innovation technologiqueUniversité de Sherbrooke
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMaterials sciencePorosityLayer (electronics)AdhesionComposite materialMembrane

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The recent exploration of porous Germanium (PGe) techniques marks a significant advancement in the scalable production of detachable Ge membranes and devices. However, there is a notable gap in the comprehensive understanding of the critical factors necessary to control the adhesion strength of these nanomembranes. This study delves into the effects of Ge growth temperature, in-situ annealing processes, and the thickness of the PGe layer on the reorganization of the porous interlayer, subsequently influencing the properties of the separation layer. We particularly focus on how adjusting these parameters can fine-tune the adhesion strength of the epitaxial layer, ranging from a freestanding state to a fully bonded nanomembrane. A key finding is that the thermal budget experienced by the porous structure during the buffer layer's growth significantly affects the nanomembrane's adhesion characteristics; it is imperative to minimize this duration, especially at higher growth temperatures. Our research demonstrates that by precisely controlling the voids within the PGe layer, the adhesion strength can be effectively modulated through variations in the PGe layer's thickness. The outcomes of this study offer crucial insights into the controllable adhesion strength of Ge nanomembranes, paving the way for the targeted development of detachable devices. • Tuning of the Ge membrane adhesion strength by adjusting growth and porous parameters. • Creation of a detachable Germanium membrane using a porous substrate. • Controlling the morphological reorganization of the Ge porous structure.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,001
Score d'incertitude au seuil0,003

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,017
Tête enseignante GPT0,236
Écart entre enseignants0,219 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations0
Publié2024
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Résumé présentoui

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