Conditions of Formation of α- and β-Modifications of Ge3N4 and Preparation of Germanium Oxynitride Dielectric Films
Notice bibliographique
Résumé
The binary compound of germanium with nitrogen (Ge3N4) is used in various fields of science and technology. Among the experimentally discovered and theoretically predicted crystal modifications of Ge3N4 at ordinary pressures and temperatures, only the α- and β-phases of the nitride are stable. There are conflicting data in the literature on the conditions for the formation of these phases. The main methods for obtaining Ge3N4 are the nitridation of elemental germanium and its dioxide with ammonia. The present work studied the influence of the degree of humidity of ammonia on the possibility of the formation of pure α- and β-phases and their mixtures. It is shown that it is possible to obtain nitride with practically any ratio of these phases by varying degrees of humidity and the temperature of the process. During the process, the formation of germanium nitride is accompanied by its simultaneous evaporation. Oxidation with water vapors also produces volatile monoxide. Simultaneous evaporation of germanium nitride and oxide results in the deposition of a film of germanium oxynitride in the cold zone of the reactor. This film is a germanium oxynitride used in microelectronics as a dielectric layer in Metal-Insulator-Semiconductor systems.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».