Experimental and Theoretical Studies on the Solidification of Cyclohexane on Silicon (Si) Substrate
Notice bibliographique
Résumé
The semiconductor industry continually seeks optimal methods to avoid nanostructure collapse during the drying process of semiconductor device manufacturing. Despite the effectiveness of sublimation drying, the phenomenon of solidification with nonuniform crystal morphology remains a challenge associated with nanostructure collapse. Therefore, successful implementation of sublimation drying necessitates high-resolution frameworks to predict the freezing behavior of sublimating chemicals at various stages. In this study, we developed a unified and versatile numerical framework to model the solidification process of sublimating agents on silicon (Si) substrates. The enthalpy method was employed to capture the liquid supercooling, equilibrium freezing, and solid subcooling stages, while a two-dimensional (2D) phase-field method was used to capture the crystal growth stage, coupled with a one-dimensional (1D) kinetics model. Classical nucleation theory (CNT) was also calibrated to calculate the nucleation time and temperature. Furthermore, a laboratory-scale experiment was designed to investigate the solidification process of cyclohexane on a bare Si substrate, accurately characterizing the temperature transition and crystal morphology. The developed numerical framework showed excellent agreement with the experimental data regarding the temperature profile and crystal morphology. The results suggested that nonuniform crystal morphology and stochastic nucleation can be delicately controlled by adjusting the cooling conditions of Si substrates, thus preventing the collapse of nanostructure patterns during the semiconductor device manufacturing process.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».