Integration of Liquid Crystal With Silicon-Micromachining Technology for the Realization of Chip-Scale Millimeter-Wave Phase Shifters
Notice bibliographique
Résumé
This article introduces chip-scale reflective-type phase shifters (RTPSs) realized by monolithically integrating liquid crystal (LC) with silicon micromachining technology. The RTPS is formed by integrating a highly miniature Quadrature hybrid with two LC-based tunable reflective loads. The LC material is confined within a micromachined silicon trench, with its dielectric properties controlled by an applied bias voltage. Two RTPSs at 28 and 62 GHz are experimentally demonstrated. The phase shifter operating at 28 GHz exhibits a phase shift of 115° as the bias voltage varies from 0 to 25 V. Its insertion loss and return loss over the frequency range of 26 to 30 GHz are 5.95 and 15 dB, respectively, resulting in a figure of merit (FOM) of 19.16°/dB. The phase shifter operating at 62 GHz achieves a phase shift of 118° with the same bias voltage range. This device demonstrates an insertion loss of 7 dB and a return loss of 13.7 dB, yielding an FOM of 16.43°/dB. Notably, the phase shift tuning for these devices is analog and continuous, with no dc power consumption. Additionally, each phase shifter incorporates a single tuning element, simplifying their operation and integration. The device fabrication is conducted in-house using a multilayer microfabrication process, resulting in the first silicon-based, chip-level LC integrated phase shifters.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».