Low Hysteresis Vanadium Dioxide Integrated on Silicon Using Complementary Metal‐Oxide Semiconductor Compatible Oxide Buffer Layer
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
VO 2 undergoes a metal‐insulator transition (MIT) at ≈70 °C, which induces large variations in its electrical and wavelength‐dependent optical properties. These features make VO 2 a highly sought‐after compound for optical, thermal, and neuromorphic applications. To foster the development of VO 2 ‐based devices for the microelectronic industry, it is also imperative to integrate VO 2 on silicon. However, high lattice mismatch and the formation of silicates at the interface between VO 2 and Si degrade the quality and functionality of VO 2 films. Moreover, VO 2 's polymorphic nature and stable VO phases pose integration issues. To address these challenges, the MIT of VO 2 thin films integrated on Si with a complementary metal‐oxide semiconductor‐compatible Hf x Zr 1− x O 2 (HZO) buffer layer is investigated. Using in situ high‐resolution X‐ray diffraction and synchrotron far‐infrared spectroscopy, combined with multiscale atomic and electronic structure characterizations, it is demonstrated that VO 2 on the HZO buffer layer exhibits an unusually low thermal hysteresis of ≈4 °C. In these results, the influence of strain on M2 phase nucleation, which controls the hysteresis, is unraveled. Notably, the rate of phase transition is symmetric and does not change for the heating and cooling cycles, implying no incorporation of defects during cycling, and highlighting the potential of an HZO buffer layer for reliable operation of VO 2 ‐based devices.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,002 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle