Double Etch Method for the Fabrication of Nanophotonic Devices from van der Waals Materials
Notice bibliographique
Résumé
The integration of van der Waals (vdW) materials into photonic devices has laid out a foundation for many new quantum and optoelectronic applications. Despite tremendous progress in the nanofabrication of photonic building blocks from vdW crystals, there are still limitations, specifically with large-area devices and masking. Here, we focus on hexagonal boron nitride (hBN) as a vdW material and present a double etch method that overcomes problems associated with methods that employ metallic films and resist-based films for masking. Efficacy of the developed protocol is demonstrated by designing and fabricating a set of functional photonic components─including waveguides, ring resonators, and photonic crystal cavities. The functionality of the fabricated structures is demonstrated through optical characterization over several key spectral ranges. These include the near-infrared and blue ranges, where the hBN boron vacancy (V B – ) spin defects and the coherent B center quantum emitters emit, respectively. The double etch method enables fabrication of high-quality factor optical cavities and constitutes a promising pathway toward on-chip integration of vdW materials.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».