A Moderate Confinement O-, S-, C-, and L-Band Silicon Nitride Platform Enabled by a Rapid Prototyping Integrated Photonics Foundry Process
Notice bibliographique
Résumé
We describe a rapid prototyping process for silicon nitride photonic integrated circuits operating at wavelengths around 1.3 and 1.5 μm. Moderate confinement silicon nitride waveguides and other essential integrated photonic components, such as fiber-chip couplers, microring resonators, multimode interference-based 3-dB power splitters, and subwavelength grating metamaterial waveguides, were fabricated and characterized and are reported. The prototyping platform features a 400-nm-thick layer of silicon nitride grown via low-pressure chemical vapour deposition onto 4” silicon thermal oxide wafers and uses direct-write electron beam lithography to define single mode waveguide structures that exhibit losses of <1.3 dB/cm across the O-band (1260–1360 nm), <1.8 dB/cm across the S-band (1460–1530 nm), <1.6 dB/cm across the C-band (1530–1565 nm), and <0.7 dB/cm across the L-band (1565–1625 nm) for both transverse electric (TE) and transverse magnetic (TM) polarizations. The reported components were compiled into a process design kit to accompany the platform, which is commercially available through the NanoSOI Design Center operated by Applied Nanotools Inc. with five multi-project wafer runs per year that have fast turnaround times on the scale of weeks rather than months. This provides a route toward the rapid fabrication of silicon nitride chip-based passive and thermo-optic active photonic devices with critical resolution down to 120 nm, making it an attractive solution for entry-level designers, device innovators, and small companies looking to incorporate integrated silicon nitride circuits into early-stage applications of silicon photonics.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».