Numerical Investigation of the Kinetics of Non-Equilibrium Phase Transitions in Silicon Induced by an Ultra-Short Laser Pulse
Notice bibliographique
Résumé
Modern semiconductor applications demand precise laser processing at the nanometer scale, requiring a detailed understanding of phase transitions and structural modifications. Accurate control over laser-induced processes in semiconductors is essential for generating surface structures and modifying surface properties. In this study, we present a numerical investigation of non-equilibrium laser-induced phase transitions in silicon (Si) using a hybrid atomistic-continuum model. The model combines the strengths of Molecular Dynamics (MD) simulations for atomisticscale descriptions of non-equilibrium phase transitions with a continuum approach to account for laser-generated free carriers. This framework captures the generation and diffusion of electronhole pairs, thermal diffusion, and electron-phonon coupling during laser energy deposition. We apply the model to determine the melting depth as a function of fluence for a 100 fs laser pulse at 800 nm. The results show that the stand-alone continuum approach underestimates the melting threshold compared to the hybrid atomistic-continuum model, which incorporates the detailed kinetics of melting. Additionally, we explore the effect of crystal orientation on melting dynamics. Lastly, the MD model is used to identify the conditions leading to the amorphization of the Si surface. These findings provide valuable insights into experimental observations of Si surface structuring induced by ultrashort laser pulses.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».