<i>In Situ</i> Focused Ion Beam Redeposition Surface Coatings for Site-Specific, Near-Surface Characterization by Atom Probe Tomography
Pourquoi ce travail est dans la base
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Notice bibliographique
Résumé
Atom probe tomography (APT) enables three-dimensional chemical mapping with near-atomic scale resolution. However, this method requires precise sample preparation, which is typically achieved using a focused ion beam (FIB) microscope. As the ion beam induces some degree of damage to the sample, it is necessary to apply a protective layer over the region of interest (ROI). Herein, the use of redeposition, a (frequently considered negative) side effect of FIB sputtering, is explored as a technique for targeted surface coatings in site-specific, near-surface APT investigations. In addition, the concept of "self-coating" is presented, which is the application of a capping layer using material from the same, or a similar, sample. It is shown to provide a pathway for high-quality coatings, as well as a method of minimizing the field evaporation threshold difference at the cap-sample interface, thus greatly reducing the likelihood of premature fractures. In situ redeposition surface coatings are shown to be versatile, with four materials used in the coating and analysis of two Si-based semiconductors and a Fe-Mn alloy. Several factors are discussed, such as the specimen yield, the capping layer quality, and the ease of ROI identification, all of which demonstrate its effectiveness in routine sample preparation workflows.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle