Sub-Nanometer Equivalent Oxide Thickness and Threshold Voltage Control Enabled by Silicon Seed Layer on Monolayer MoS<sub>2</sub> Transistors
Notice bibliographique
Résumé
Low-power transistors based on two-dimensional (2D) semiconductors require ultrathin gate insulators, whose atomic layer deposition (ALD) has been difficult without adequate surface preparation. Here, we achieve sub-1 nm equivalent oxide thickness (EOT) on monolayer MoS 2 using HfO 2 and a simple, commonly available Si seed. We first investigate six seed layer candidates (Si, Ge, Hf, La, Gd, Al 2 O 3 ) and find that only Si and Ge cause no measurable damage to the MoS 2 . With these, we build monolayer MoS 2 transistors using ALD of HfO 2 top-gate dielectric and find that the Si seed provides the better, low-hysteresis interface. The thickness of this interfacial layer also controls the threshold voltage, enabling normally-off, well-behaved transistors. The thinnest gate stack reached low EOT ≈ 0.9 nm with low leakage (<0.6 μA/cm 2 ) and ∼80 mV/dec subthreshold swing at room temperature. This represents a simple top-gate dielectric deposition approach, achievable within many common nanofabrication facilities.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».