MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W4408631878 · doi:10.1149/2162-8777/adc23e

Optical and Mechanical Properties of Europium-Doped Silicon Nitride Thin Films Deposited by ECR-PECVD with Magnetron Sputtering

2025· article· en· W4408631878 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.
no affAucune affiliation canadienne : ce travail est invisible pour une base fondée sur la seule affiliation.
Aucune affiliation canadienne. Une base fondée sur la seule affiliation (le devis habituel) n'aurait jamais vu ce travail. C'est l'un des travaux qui justifient l'inversion de la base.

Notice bibliographique

RevueECS Journal of Solid State Science and Technology · 2025
Typearticle
Langueen
DomainePhysics and Astronomy
ThématiqueGaN-based semiconductor devices and materials
Établissements canadiensnon disponible
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésMaterials sciencePlasma-enhanced chemical vapor depositionDopingSputter depositionOptoelectronicsThin filmSilicon nitrideEuropiumHigh-power impulse magnetron sputteringSiliconSputteringNanotechnologyLuminescence

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Optical and mechanical properties of europium (Eu)-doped silicon nitride (Si x N y ) films were investigated as a function of the sputtering power applied to the Eu metal target and argon flow into the deposition chamber. Films were fabricated by an electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical vapor deposition (ECR-PECVD) system combined with magnetron sputtering for in situ rare-Earth doping. Results show that Eu-doped Si x N y films fabricated with higher sputtering power exhibit intense red emission when annealed above 1000 °C, making the luminescence visible under daylight conditions. Variable-angle spectroscopic ellipsometry analysis shows that the refractive index and film thickness are strongly dependent on the sputtering power; however, argon (Ar) flow has minimal influence. High-resolution X-ray diffraction reveals that the crystalline phases in the films play a crucial role in efficient Eu emission. Additionally, the films show increased hardness, up to 18 GPa, and an elastic modulus of 160 GPa, ensuring their durability and performance as cladding layers in photonic devices. These mechanical properties are essential for maintaining structural integrity and preventing defects, which are critical for the reliability of optoelectronic devices. The combination of strong emissions and good mechanical properties make Eu-doped Si x N y films suitable for optoelectronic and solar cell applications, where both efficient light emission and material stability are essential.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,002
Score d'incertitude au seuil0,318

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,007
Tête enseignante GPT0,228
Écart entre enseignants0,221 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle