Etch process optimization to improve line edge roughness using precise stochastic process metrology
Notice bibliographique
Résumé
Optimizing etch processes for Self-Aligned Double Patterning (SADP) is complicated by the metrology challenge of keeping the two populations (core and gap) separate. If that metrology challenge can be solved, the goal is to optimize the SADP process to achieve 1 nm Line-Edge Roughness (LER) for both core and gap while maintaining acceptable CD balance between the two. MetroLER was used to automatically determine SADP populations without relying on CD-SEM stage precision, and to provide unbiased roughness measurements and other metrics of stochastics behavior. The resulting analysis found that line wiggling at the hardmask etch step was one of the problematic steps in the SADP patterning. After full optimization of the SADP process, LER for both core and gap was reduced as much as 25%, to 1.1 nm. Separation of SADP populations and advanced analysis of unbiased roughness, including edge-edge correlations and line/space wiggling, are critical to process improvements and reduction of the impact of stochastics on line/space patterning in advanced DRAM manufacturing.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».