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Enregistrement W4412782865 · doi:10.1021/acsnano.5c07195

Engineering Ni-Silicide Nanocontacts for 3D Silicon Devices via Geometrical Confinement Control

2025· article· en· W4412782865 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueACS Nano · 2025
Typearticle
Langueen
DomainePhysics and Astronomy
ThématiqueSemiconductor materials and interfaces
Établissements canadiensCanadian Nautical Research Society
Organismes subventionnairesHorizon 2020 Framework ProgrammeUniversité Toulouse III - Paul SabatierCentre National de la Recherche ScientifiqueAgence Nationale de la Recherche
Mots-clésSilicideMaterials scienceSiliconNanotechnologyEngineering physicsOptoelectronicsEngineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

High Resolution Image Download MS PowerPoint Slide Nanoscale Ni-silicide alloys are critical components for future generations of 3D electronic devices based on active Si nanostructures, with applications in nanoelectronics, energy conversion, and sensing. This study investigates how geometrical confinement in such nanostructures influences diffusion-driven silicidation, ultimately determining the alloy formation sequence, phase composition, and volumetric expansion. The silicidation of controlled Ni volumes is investigated on vertical silicon nanowires (NW) and nanosheets (NS) under various annealing conditions. The silicide phases and interface morphologies are characterized using high-resolution (scanning) transmission electron microscopy (HR-TEM, HR-STEM), energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX), and four-dimensional scanning transmission electron microscopy (4D-STEM) for nanoscale Ni–Si phase mapping. Under conditions of strong geometric confinement, NiSi 2 is observed to form with faceted, prism-like morphologies aligned with Si (111) planes, features not typically present in planar or bulk samples. This anisotropic growth is associated with preferential Ni diffusion along nanostructure surfaces and limited Si counter-diffusion through the silicide. The resulting NiSi 2 interfaces are structurally distinct and may contribute to reduced contact resistance in both p-type and n-type silicon nanostructures, supporting their integration in 3D device architectures.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,106
Score d'incertitude au seuil0,651

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,007
Tête enseignante GPT0,241
Écart entre enseignants0,233 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle