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Enregistrement W4415121665 · doi:10.1088/1361-6439/ae1240

CMUT modeling—extension to soft boundaries and thick plates

2025· article· en· W4415121665 sur OpenAlexaff
Gabriel Guerreiro, Edmond Cretu

Notice bibliographique

RevueJournal of Micromechanics and Microengineering · 2025
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueManufacturing Process and Optimization
Établissements canadiensUniversity of British Columbia
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésCapacitive micromachined ultrasonic transducersCapacitive sensingFinite element methodDisplacement (psychology)TransducerBoundary value problemUltrasonic sensorBoundary element method

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Abstract The Classical Kirchhoff—Love plate theory is widely used to model capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) cells, assuming thin plates with negligible shear deformation and rigid boundaries. However, thicker polymer-based CMUTs operate beyond the limits of these assumptions, where the shear and boundary effects become significant. These factors alter the displacement profile, lowering the resonant frequency and the static pull-in voltage. Existing analytical models do not consider these effects alone or in combination. This study introduces the softly-clamped displacement equation, which accounts for both shear deformation and compliant boundary behavior using only two fitting constants for a single cell. The aspects investigated include the plate deflection, pull-in voltage, and electromechanical coupling coefficient. The model was validated against finite element model (FEM) simulations across various thickness-to-radius ratios, applied pressures, and voltages. The proposed reduced-order model was implemented in SPICE for both large- and small-signal operating regimes and showed excellent agreement with the FEM results: pull-in displacement (error <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:mrow> <mml:mo>&lt;</mml:mo> </mml:mrow> </mml:math> 0.5%), pull-in voltage (error <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:mrow> <mml:mo>&lt;</mml:mo> </mml:mrow> </mml:math> 2.3%), and resonance frequency (error <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:mrow> <mml:mo>&lt;</mml:mo> </mml:mrow> </mml:math> 4.2%). The softly-clamped model bridges a critical gap in CMUT modeling and offers a scalable framework for designing thick-plate, polymer-based transducers under realistic boundary conditions.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Simulation ou modélisation · Signal consensuel: Simulation ou modélisation
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: aucune
Score de désaccord entre enseignants0,503
Score d'incertitude au seuil0,534

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,005
Tête enseignante GPT0,190
Écart entre enseignants0,185 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeSimulation ou modélisation
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations0
Publié2025
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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