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Enregistrement W4415300726 · doi:10.56651/lqdtu.jst.v20.n03.1037

INVESTIGATION OF THE EFFECT OF SAMPLE HEIGHT AND SURFACE CURVATURE ON THE ANTI-REFLECTION PROPERTIES OF DLC COATINGS ON Si SUBSTRATES USING PECVD TECHNOLOGY

2025· article· W4415300726 sur OpenAlexaboutno aff
Thi Kieu Trang

Notice bibliographique

RevueJournal of Science and Technique · 2025
Typearticle
Langue
DomaineEngineering
ThématiqueMetal and Thin Film Mechanics
Établissements canadiensnon disponible
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésPlasma-enhanced chemical vapor depositionInfraredDeposition (geology)CoatingChemical vapor depositionThermalTransmittanceTransmission (telecommunications)Tilt (camera)

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

In the field of security, thermal imaging devices are increasingly employed in surveillance systems and often operate under harsh environmental conditions. To ensure their durability and performance, protective diamond-like carbon (DLC) coatings are often deposited on the outer lens or protective lens. DLC films are highly attractive owing to their excellent wear resistance, high hardness, environmental stability, and infrared transparency within the spectral range of thermal imaging systems. In this study, DLC coatings were deposited using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) with the Aegis DLC-PECVD system (Intlvac, Canada). A challenge in coating large optical components is that variations in plasma distribution can lead to film non-uniformity. We report experimental results on the deposition of anti-reflective DLC coatings on Si substrates for the mid-wave infrared spectral region (3-5 µm). The uniformity of the DLC layers was assessed through transmission spectroscopy of samples placed at different positions inside the deposition chamber. The results indicate that varying the sample height from 0 to 40 mm relative to the plasma electrode caused negligible changes in spectral shape, while the transmission intensity exhibited only a slight variation of ~1.6% for single-side DLC-coated samples. For samples placed at different tilt angles, the transmission peak shifted toward longer wavelengths, from 3.4 to 4 µm, corresponding to incident angles between 0° and 50°. These findings provide useful insights for optimizing sample holder design to improve the thickness uniformity and optical performance of DLC coatings on large thermal imaging lenses.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,001
Score d'incertitude au seuil0,003

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,022
Tête enseignante GPT0,239
Écart entre enseignants0,217 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations0
Publié2025
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Résumé présentoui

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