Defect engineering and dopant activation of room temperature grown aluminium-doped zinc oxide thin films
Notice bibliographique
Résumé
The impact of structural defects on the electrical properties of aluminium doped zinc oxide (AZO) thin films is investigated by varying sputter deposition and post deposition annealing conditions. Results demonstrate sputtered species of high kinetic energy at high radio frequency power (or low sputtering pressure) facilitate the production of AZO films with enhanced crystallinity, grain growth, and compactness with reduced trap defects at grain boundaries. A resistivity of 1.11 × 10 –3 Ω.cm is achieved for the optimised as-deposited samples at room temperature (RT), using 3.95 W/cm 2 sputtering at 2 mTorr of Ar. Post deposition annealing via pulsed Krypton Fluoride (KrF λ = 248 nm) excimer laser annealing (ELA) and rapid thermal annealing (RTA), provided a functional means to further manipulate the defects in terms of density and distribution. ELA (5 pulses at 125 mJ/cm 2 in air) and RTA (300 °C/20 s in nitrogen) resulted in a ∼50 % resistivity reduction to ∼5.20 × 10 –4 Ω.cm due to an increase of both free electron density and Hall mobility. X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), atomic force microscopy (AFM), and Hall Effect measurements demonstrated a reduction of structural, adsorbed, and morphological defects, with an enhancement of compactness and the effective incorporation of Al into the ZnO lattice. ELA increased the visible transparency from 82 % to 86 %, and the bandgap ( Eg ) from 3.69 eV to 3.80 eV. RTA also increased the bandgap to 3.80 eV, with a slightly larger increase in the visible transparency to 88 %. The optimised ELA and RTA procedures present a roadmap of rapid annealing conditions following low temperature deposition suitable for the optoelectronics industry and transparent electrodes applications.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».