Coplanar waveguide structures on micromachined glass substrates
Notice bibliographique
Résumé
Micromachining is currently being studied to help reduce the packaging and integration costs of multi-chip modules (MCMs) in radio frequency (RF) systems. Such systems require the integration of radiating elements, feed networks, micro-electromechanical systems (MEMS), and monolithic microwave integrated circuits (MMICs). Each subsystem has its own requirements in terms of material properties. Antennas radiate best when located on low dielectric constant materials, while higher dielectric constant materials permit smaller size for feed networks. In both cases low loss is a practical concern. Ideally one material could be used which would satisfy all the requirements. In this work a sequence of processes to create thick copper coplanar waveguide (CPW) structures on low-cost aluminosilicate glass substrates is proposed and demonstrated. Conductor loss as a function of geometry and conductor thickness will be discussed. Results will be presented that indicate the effective dielectric constant of a single substrate material can be varied by micromachining an air/dielectric lattice structure beneath perforated conductors. This micromachined perforated CPW (MCPW) structure can effectively provide multiple dielectrics with a single material. The micromachined structures are characterized against a regular finite ground CPW and compared against numerical predictions.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».