Absolute photoionization cross sections for Xe4+, Xe5+, and Xe6+ near 13.5 nm:\nExperiment and theory
Notice bibliographique
Résumé
Absolute photoionization cross-section measurements for a mixture of ground and metastable states of Xe4+, Xe5+, and Xe6+ are reported in the photon energy range of 4d→nf transitions, which occur within or adjacent to the 13.5 nm window for extreme ultraviolet lithography light source development. The reported values allow the quantification of opacity effects in xenon plasmas due to these 4d→nf autoionizing states. The oscillator strengths for the 4d→4f and 4d→5f transitions in Xeq+ (q=1–6) ions are calculated using nonrelativistic Hartree-Fock and random phase approximations. These are compared with published experimental values for Xe+ to Xe3+ and with the values obtained from the present experimental cross-section measurements for Xe4+ to Xe6+. The calculations assisted in the determination of the metastable content in the ion beams for Xe5+ and Xe6+. The experiments were performed by merging a synchrotron photon beam generated by an undulator beamline of the Advanced Light Source with an ion beam produced by an electron cyclotron resonance ion source.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».