Z-pinch Dynamics in a Xenon Gas Jet Type 13.5 nm Extreme Ultraviolet Plasma Source
Notice bibliographique
Résumé
Extreme Ultraviolet (EUV) lithography is the leading candidate of the next generation lithography technology.To date, insufficient source power remains a critical issue for the High Volume Manufacturing (HVM) of EUV lithography.Z-pinch is an efficient method for producing the 13.5 nm EUV radiation.However, it is inherently susceptible to Magneto-Rayleigh-Taylor (MRT) instabilities, which causes the non-uniformity of the EUV radiation and degrades the output.In this thesis, both experimental and numerical investigations on the Z-pinch dynamics of an gas jet type Xenon ( Xe) Discharge Produced Plasma (DPP) EUV source are presented.The EUV radiation characteristics, time-resolved visible plasma imaging, time-integrated EUV pinhole imaging, electron density evolution, and ion kinetics in decay phase are studied experimentally.The EUV radiation fluctuation caused by MRT instability with a wavelength 1 mm is observed by EUV pinhole imaging.To investigate the Z-pinch dynamics and the MRT instabilities in the DPP EUV source, a Magneto-Hydrodynamics (MHD) code is developed.Important plasma parameters for Z-pinch (e.g.electron density and electron temperature) are simulated.The evolutions of MRT instabilities with single mode, multi-mode and random mode initial perturbations are presented.The simulation shows that MRT instabilities tend to converge to a mm-scale wavelength around 1 mm, in consistence with experimental result.The MRT instabilities will cause the electron density and temperature fluctuations along Z axis at pinch stagnation, which finally lead to the non-uniformity of the EUV radiation.Preferred initial conditions and possible MRT mitigation methods are also proposed to optimize the EUV source.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,004 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».