Numerical Modeling of Nanostructure Deformation During the Phase Change Process of Sublimation Drying
Notice bibliographique
Résumé
Abstract To remove residues from the semiconductors, various drying techniques were developed over time, most of which are associated with the deformation of the nanostructure. To deal with this problem, sublimation drying has been introduced wherein the liquid material is first frozen and then sublimed to prevent liquid residues from becoming trapped in the nanostructures. However, the freezing stage can still cause the nanostructure to collapse. The deformation or collapse occurs due to thermal expansion of the sublimating agent during the solidification process. The present study investigates this phenomenon through numerical simulations. Particularly, the freezing process of the sublimating agent, here water, on the silicon (Si) substrate is modeled using COMSOL Multiphysics software. The simulation involves heat transfer in the sublimating material, its thermal expansion, and the mechanical structure of the Si substrate. The results present the displacement of the nanostructure for cells located on the side of the substrate. Furthermore, the variations of stress and temperature during the process are studied. Experimental results are used to validate the numerical model. The model facilitates the design and implementation of the sublimation drying process for semiconductor manufacturing.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».