Bibliographic record
Abstract
De plus en plus de dispositifs miniatures appelés MEMS (Micro Electro Mechanical systems) sont développés au Canada. Parmi ces dispositifs, on retrouve notamment des capteurs (pression, accélération, température, etc.), des micro-actionneurs (électrostatiques, piézoélectriques, etc.) et une panoplie d'autres applications possibles de la mécanique et de l'électronique à petite échelle (ex. micro-laboratoire, microturbine). Les MEMS sont généralement fabriqués par des procédés de microélectronique en salle blanche (lithographie, gravure humide, DRIE, etc.). Ces méthodes ne permettent de réaliser les MEMS que par empilement de structures 2D les unes sur les autres. Cependant, l'ablation au laser s'avère être une méthode de fabrication prometteuse afin de compléter ces dernières pour le prototypage de MEMS de taille microscopique (10 *m à 10 mm typiquement). Ce projet de recherche vise donc à développer un outil permettant de réaliser, par écriture directe, l'ablation des matériaux pour créer des structures 2D et possiblement 3D à l'aide d'un laser excimère ArF (193 nm) à cette échelle. Un poste de micro-usinage à commande numérique a donc été conçu sur mesure par le GAUS en collaboration avec l'Institut National d'Optique (INO)."--résumé abrégé par UMI.
Fetched live from OpenAlex and de-inverted. Abstracts are not stored in this database: the inverted indexes are 8.6 GB of the frame’s 9.3 GB of text, and the host has 13 GB free.
How this classification was reachedexpand
Full frame distilled prediction
Teacher imitationNot calibrated prevalence, not ground truth. Human validation pending. Learned from the 10,348 direct Codex labels and 10,348 direct Gemma labels. Candidate is the union of thresholded teacher heads; consensus is their intersection. These outputs are machine_predicted_unvalidated and are not human labels or direct frontier model labels.
Codex and Gemma teacher scores by category
| Category | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Metaresearch | 0.000 | 0.000 |
| Meta-epidemiology (narrow) | 0.000 | 0.000 |
| Meta-epidemiology (broad) | 0.000 | 0.000 |
| Bibliometrics | 0.000 | 0.000 |
| Science and technology studies | 0.000 | 0.001 |
| Scholarly communication | 0.000 | 0.000 |
| Open science | 0.001 | 0.000 |
| Research integrity | 0.000 | 0.000 |
| Insufficient payload (model declined to judge) | 0.000 | 0.000 |
Machine scores (provisional)
The two teacher heads of the student model, read on this work. A score orders the frame for review; it never asserts a category, and the validation status ships verbatim with every row.
Baseline scores from an immature model (maturity gate not passed, 7 training rounds). Scores rank; they never assert a category.
score_only:v0-immature-baseline · verbatim from the scoring run: score_only means the number may rank works, and no category label ships from itClassification
machine, unvalidatedMachine predicted; a candidate call from one teacher head, not a consensus.
How this classification was reached, model by model and score by score, is at the end of the page under "How this classification was reached".