Fabrication of diffractive optical elements by electron beam lithography
Why this work is in the frame
A frame that forgets how it found something cannot be audited. These are the routes that admitted this work.
Bibliographic record
Abstract
Éléments d'optiques diffractives (EODs) composent une partie essentielle dans le succès de microsystèmes optiques. Lithographie à faisceau d'électrons est un élément clé pour la fabrication des structures avec des dimensions critiques submicroniques. Cette thèse présente le travail fait sur le développement d'un processus pour la fabrication des optiques diffractives en utilisant cette méthode. Ce projet étudie des divers défis impliqués dans ce processus, traite des problèmes qui pourrait surgir et propose des solutions pour les résoudre. Les sources d'erreur possible dans la création et le transfert des modèles sont identifiées et des méthodes de les éliminer ou les minimiser sont présentées. Certaines des erreurs sont attribuées à l'accumulation d'électrons et aux problèmes d'alignement lors de la lithographie.
Fetched live from OpenAlex and de-inverted. Abstracts are not stored in this database: the inverted indexes are 8.6 GB of the frame’s 9.3 GB of text, and the host has 13 GB free.
Full frame distilled prediction
Teacher imitationNot calibrated prevalence, not ground truth. Human validation pending. Learned from the 10,348 direct Codex labels and 10,348 direct Gemma labels. Candidate is the union of thresholded teacher heads; consensus is their intersection. These outputs are machine_predicted_unvalidated and are not human labels or direct frontier model labels.
Codex and Gemma teacher scores by category
| Category | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Metaresearch | 0.000 | 0.000 |
| Meta-epidemiology (narrow) | 0.000 | 0.000 |
| Meta-epidemiology (broad) | 0.000 | 0.000 |
| Bibliometrics | 0.000 | 0.001 |
| Science and technology studies | 0.000 | 0.000 |
| Scholarly communication | 0.000 | 0.001 |
| Open science | 0.000 | 0.000 |
| Research integrity | 0.000 | 0.001 |
| Insufficient payload (model declined to judge) | 0.000 | 0.000 |
Machine scores (provisional)
The two teacher heads of the student model, read on this work. A score orders the frame for review; it never asserts a category, and the validation status ships verbatim with every row.
Baseline scores from an immature model (maturity gate not passed, 7 training rounds). Scores rank; they never assert a category.
score_only:v0-immature-baseline · verbatim from the scoring run: score_only means the number may rank works, and no category label ships from it