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Enregistrement W1026180213 · doi:10.1017/cbo9780511534850.004

Characterization of extended defects in semiconductors

2007· book-chapter· en· W1026180213 sur OpenAlexaff
D. B. Holt, B. G. Yacobi

Notice bibliographique

RevueCambridge University Press eBooks · 2007
Typebook-chapter
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueIntegrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis
Établissements canadiensUniversity of Toronto
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésCharacterization (materials science)SemiconductorMaterials scienceOptoelectronicsPsychologyNanotechnology

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Introduction This chapter outlines the principles, advantages and limitations of the methods in use for the characterization of extended defects and should enable the reader to appreciate the experimental results presented. For additional accounts see Brundle et al . 1992, Yacobi et al . 1994, Schroder 1998, and Runyan and Shaffner 1998. Characterization methods can be classified as (i) either surface or bulk techniques, as (ii) either destructive or non-destructive methods, and as (iii) either requiring the application of contacts or not. We have excluded the free surface from consideration on the grounds that, like point defects, its study constitutes a large specialized field already covered by many publications. We therefore also omit surface microscopy and analysis techniques here. Generally, non-destructive techniques are preferred as are contactless ones. However, in practice neither is a very important factor as generally one or a few specimens can be sacrificed for destructive examination and contacts can usually be applied. Characterization techniques are essential for failure analysis and quality control of semiconductor materials and devices. Often failure modes are associated with manufacturing process-induced defects or with defect-dependent device degradation in service. Electrical measurements for the analysis of a wide range of semiconductor transport properties such as, for example, resistivity (conductivity) , Hall effect and capacitance-voltage measurements are made on whole bulk specimens and devices. The net influence on these properties of all the defects present then appears in the results.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Sans objet · Signal consensuel: aucune
GenreSignal candidat: Méthodes · Signal consensuel: Méthodes
Score de désaccord entre enseignants0,002
Score d'incertitude au seuil0,008

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0010,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0010,001
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0020,001

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,019
Tête enseignante GPT0,187
Écart entre enseignants0,169 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeSans objet
Domainenon disponible
GenreMéthodes

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations1
Publié2007
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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