Ultrathin Zirconium Silicate Films Deposited on Si(100) Using Zr(O[sup i]-Pr)[sub 2](thd)[sub 2], Si(O[sup t]-Bu)[sub 2](thd)[sub 2], and Nitric Oxide
Notice bibliographique
Résumé
Ultrathin Zr silicate films were deposited using Zr(O i -Pr) 2 (tetramethylheptanedione,thd) 2 , Si(O t -Bu) 2 (thd) 2 and nitric oxide in a pulse-mode metallorganic chemical-vapor deposition apparatus with a liquid injection source. High resolution transmission electron microscopy, atomic force microscopy, X-ray photoelectron spectroscopy XPS, and medium energy ion scattering were employed to investigate the structure, surface roughness, chemical state, and composition of the films. The nitric oxide used as oxidizing gas, instead of O 2 , not only reduced the thickness of the interfacial layer but also removed the carbon contamination effectively from the bulk of the films. The as-deposited Zr silicate films with a Si:Zr ratio of 1.3:1 were amorphous, with an amorphous interfacial layer 0.3-0.6 nm thick. After a spike anneal in oxygen and a 60 s nitrogen anneal at 850C, these films remained amorphous throughout without phase separation, but the interfacial layer increased in thickness. No evidence of Zr-C and Zr-Si bonds were found in the films by XPS and carbon concentrations 0.1 atom %, the detection limit, were obtained. The hysteresis, fixed charge density, and leakage current determined from capacitance-voltage analysis improved significantly after postdeposition anneals at 850C and the films exhibited promising characteristics for deep submicrometer metal-oxidesemiconductor devices.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».