Notice bibliographique
Résumé
Abstract The sections in this article are Introduction Dissolution of Silicon Fluoride Solutions In Alkaline Solutions Hydrogen Evolution Dissolution Kinetics and Mechanisms Reaction Mechanisms A General Model Elementary Steps Reaction Paths Etch Rates in Various Systems General In Fluoride‐based Solutions Absence of Oxidants Effect of CrO 3 Addition Effect of HNO 3 Addition Addition of Other Oxidants Alkaline Solutions KOH Solutions Reaction Kinetics Other Inorganic Solutions Hydrazine Organic Solutions EDP Solutions Etching Reactions Ethanolamine Tetramethyl Ammonium Hydroxide ( TMAH ) Etch Rate Reduction of Heavily Doped Materials Mechanism Anisotropic Etching Rate‐Limiting Process Mechanism of Anisotropic Etching A General Model for both HF and KOH Solutions Basic Features of Anisotropically Etched Surfaces Surface Roughness Microroughness Macroroughness Crystallographic Characters and Formation of Hillocks Origins of Roughness Applications of Etching Cleaning RCA Cleaning Defect Etching Material Removal Uniform Material Removal Selective Material Removal
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».