Characterization of GaAs1−xNx epitaxial layers by ion beam analysis
Notice bibliographique
Résumé
GaAs 1−x N x epitaxial layers grown on (001) GaAs substrates by metal organic vapor phase epitaxy, with x ranging from 0.01 to 0.036, were characterized by ion beam analysis. The layers thickness and quality were measured by Rutherford backscattering spectrometry (RBS) in channeling mode. The channeling results confirm that GaAs1−xNx epitaxial layers are of high crystalline quality, in agreement with high resolution x-ray diffraction and transmission electron microscopy analyses. For the sample with x=0.036, the results reveal a 0.7 at. % of misplaced (or highly locally strained) Ga or As atoms. More than 80% of nitrogen atoms in this layer occupy substitutional sites, as determined by the N14(α,p)17O nuclear reaction analysis (NRA). Furthermore, RBS analyses using a 5 MeV O3+ probe beam reveal measurable departures from III–V stoichiometry near the surface, which remains unexplained. Finally, the total content of nitrogen in the layers measured both by NRA and elastic recoil detection by time-of-flight are compared with the results obtained by secondary ion mass spectrometry.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».