The Role of Ion Beam Technology in the Development of Integrated Optical Monitors Suitable for Applications in Silicon Photonics
Notice bibliographique
Résumé
This paper outlines one aspect of the enabling role that ion implantation has played in the continuing development of silicon photonic devices. It describes work on defect mediated, silicon‐based integrated optical monitors, suitable for detection of light at wavelengths around 1570nm. The detection mechanism in such devices relies on the introduction of mid‐gap energy levels via inert ion implantation into the volume of the device coincident with the optical mode. The defect‐related absorption of a controllable fraction of the optical signal leads to the generation of carriers and a photocurrent is extracted via an integrated p‐i‐n diode. The sensitivity of the device to the defect concentration and the need for shallow junctions for the p and n‐doped regions which form the detector contacts ensures the requirement for well‐controlled and characterized ion implantation processes. Further, in an analogous process to that used in the electrical isolation of III‐V devices, a combination of defect introduction and evolution via low temperature annealing is found to remove shallow defects which contribute to the dark current. To date, the best devices produce around 80μA of photocurrent for an on‐chip optical power of 2.8mW from a broadband source with a central wavelength at 1570nm.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».