Dual-frequency plasma deposition of high quality insulating thin films
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Dual-mode microwave/radiofrequency PECVD processes have been used for the fabrication of four types of amorphous dielectric films: SiN/sub 1.3/, SiO/sub 2/, a-C:H, and plasma-polymerized hexamethyldisiloxane (PP-HMDSO). For each of these materials, we have determined values of the critical average ion energy E~/sub i/ (between about 70 and 170 eV) and of the critical ion flux, which characterize the transition from a porous to a densely packed microstructure, at low (/spl sim/25/spl deg/C) substrate temperature T/sub s/ and high deposition rates (between 20 and 120 /spl Aring//s). When E~/sub i/ values are optimized, the d.c. resistivity and the dielectric loss tangent values for all of these dielectrics are found to be about 10/sup 16/ /spl Omega/ cm and 10/sup -3/, respectively. We present evidence which shows that E~/sub i/ and T/sub s/ can be considered as interchangeable process parameters. Large area scale-up and continuous deposition onto flexible substrate materials are also discussed.< <ETX xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">></ETX>
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,009 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle