Dual-frequency plasma deposition of high quality insulating thin films
Notice bibliographique
Résumé
Dual-mode microwave/radiofrequency PECVD processes have been used for the fabrication of four types of amorphous dielectric films: SiN/sub 1.3/, SiO/sub 2/, a-C:H, and plasma-polymerized hexamethyldisiloxane (PP-HMDSO). For each of these materials, we have determined values of the critical average ion energy E~/sub i/ (between about 70 and 170 eV) and of the critical ion flux, which characterize the transition from a porous to a densely packed microstructure, at low (/spl sim/25/spl deg/C) substrate temperature T/sub s/ and high deposition rates (between 20 and 120 /spl Aring//s). When E~/sub i/ values are optimized, the d.c. resistivity and the dielectric loss tangent values for all of these dielectrics are found to be about 10/sup 16/ /spl Omega/ cm and 10/sup -3/, respectively. We present evidence which shows that E~/sub i/ and T/sub s/ can be considered as interchangeable process parameters. Large area scale-up and continuous deposition onto flexible substrate materials are also discussed.>
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».