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Enregistrement W1954672870 · doi:10.1109/pvsc.2002.1190834

Very low surface recombination velocities on p- and n-type silicon wafers passivated with hydrogenated amorphous silicon films

2003· article· en· W1954672870 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.
no affAucune affiliation canadienne : ce travail est invisible pour une base fondée sur la seule affiliation.
Aucune affiliation canadienne. Une base fondée sur la seule affiliation (le devis habituel) n'aurait jamais vu ce travail. C'est l'un des travaux qui justifient l'inversion de la base.

Notice bibliographique

Revuenon disponible
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueThin-Film Transistor Technologies
Établissements canadiensnon disponible
Organismes subventionnairesInstitute of Gender and Health
Mots-clésPassivationPlasma-enhanced chemical vapor depositionMaterials scienceSilicon nitrideWaferSiliconAmorphous siliconChemical vapor depositionCarrier lifetimeAmorphous solidNanocrystalline siliconAnalytical Chemistry (journal)Crystalline siliconOptoelectronicsNanotechnologyLayer (electronics)CrystallographyChemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Outstanding surface passivation of single-crystalline p- as well as n-type silicon is obtained using hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) films deposited at very low temperature in a plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system. It is demonstrated that a-Si:H films with excellent surface passivation properties can be deposited in the temperature range between 200 and 250/spl deg/C. Despite the low deposition temperature, the surface passivation of low-resistivity (/spl sim/1 /spl Omega/cm) p-type silicon provided by the films exceeds that provided by high-temperature (/spl sim/1000/spl deg/C) thermal oxides and PECVD silicon nitride films deposited at temperatures around 400/spl deg/C. A record-low surface recombination velocity (SRV) of 3 cm/s is achieved on 1.6-/spl Omega/cm p-Si. In addition, on 3.4-/spl Omega/cm n-Si wafers, very low SRVs of 7 cm/s are obtained. Investigations regarding the thermal stability of the passivation quality of the a-Si:H films show that the passivation is stable for temperatures exceeding the deposition temperature.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,243
Score d'incertitude au seuil0,995

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,007
Tête enseignante GPT0,174
Écart entre enseignants0,167 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

En bref

Citations87
Publié2003
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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