X-ray reflectometry characterization of porous silicon films prepared by a glancing-angle deposition method
Notice bibliographique
Résumé
The competitive growth process of ballistic deposition is studied experimentally using x-ray reflectivity characterization of silicon thin films deposited with various vapor incidence angles. Linear profiles of film density with thickness are shown to reproduce the observed reflectivity spectra. A porosity of about 10% was observed in the first few atomic layers atop the substrate, with porosity decreasing with film thickness to near zero for vapor incidence between normal and $60\ifmmode^\circ\else\textdegree\fi{}$, and porosity increasing to 50% and above for vapor incidence angles above $70\ifmmode^\circ\else\textdegree\fi{}$---the regime of glancing-angle deposition. Our results support the model of glancing deposition as sequential atomic ballistic deposition, where the observed sign change in the slope of the density profile is understood to correspond to the geometric condition where the roughening caused by self-shadowing overtakes the smoothing effects of atomic surface diffusion. From the electron-density profiles derived from x-ray reflectivity measurements, we calculate the average porosity and using data on optical indices of refraction we estimate the amount of silicon oxide.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».