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Enregistrement W1964669704 · doi:10.1116/1.4751550

Porous TEM windows fabrication using CsCl self-assembly

2012· article· en· W1964669704 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena · 2012
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueAnodic Oxide Films and Nanostructures
Établissements canadiensUniversity of Waterloo
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMaterials scienceMembranePorous siliconSilicon nitridePorosityFabricationTransmission electron microscopyEtching (microfabrication)Scanning electron microscopeNanotechnologySiliconChemical engineeringNitrideComposite materialOptoelectronicsLayer (electronics)Chemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Thin non-porous silicon nitride membrane has been used for transmission electron microscopy (TEM) “windows” due to its transparency to high-energy electrons. However, to completely eliminate the background scattering, a porous membrane is desirable. Here the authors report the fabrication of porous silicon nitride membranes by CsCl self-assembly to form hemispherical islands, followed by “image reversal” via drying etching and liftoff steps. Through controlling the evaporated CsCl film thickness, the exposure time of the film in air, and the relative humidity of air, the authors were able to fabricate porous silicon nitride membranes with pore diameter and interpore spacing of order 100 nm. The pore diameter could be further shrunk by coating a conformal film onto the porous membrane. In addition, conductive porous TEM windows can be achieved by simply skipping the final metal removal step. Such a porous membrane would also find applications in separation or filtration of macromolecules or nanoparticles.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,004
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesMéta-épidémiologie (sens strict)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,018
Score d'incertitude au seuil1,000

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0040,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0010,001
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,014
Tête enseignante GPT0,239
Écart entre enseignants0,225 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle