Synthesis and characterization of calixarene derivatives as resist materials for electron-beam lithography
Notice bibliographique
Résumé
This article describes the electron-beam resist properties of a class of calixarene derivatives for high-resolution electron-beam lithography. The derivatives, which are based on a calix[4]resorcinarene framework, are unique in that the bridging carbon is functionalized with a long chain (C11) alkyl group. Our studies reveal that the electron-beam sensitivity of the calix[4]resorcinarenes is markedly lower than a standard calix[6]arene material, consistent with the increase in sensitivity that is observed with the number of monomers for these systems. Comparison of the sensitivity of the calix[4]resorcinarenes with four member calix[4]arenes from the literature reveals very similar values, indicating that chemical modification at the bridging carbon has no appreciable effect on sensitivity. The minimum linewidth resolution of the calix[4]resorcinarenes under our experimental conditions was found to be approximately 50nm at a threshold line dose of 65nC∕cm. Our results also demonstrate the ability to chemically modify calixarene compounds at the bridging carbon position while maintaining electron-beam sensitivity. These findings are intended to open avenues for more extensive modification schemes in developing resist materials for high-resolution electron-beam lithography.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».