Submicron Polymer Flow Cells
Notice bibliographique
Résumé
This paper investigates the fabrication processes of polymer micro channels integrated into flow cells. The cross sectional dimensions of these flow cell channels are in the range of microns containing structures or structure details in the submicron range. Single-component and double-component cells are presented. Single-component cells are entirely made of one polymer. They are composed of a micro structured substrate and a cover plate to hermetically seal the subjacent microfluidic structures. Flexible fluidic ports are added to facilitate interfacing. Polymethylmethacrylate (PMMA) is used as an industrially prefabricated foil (HESA®Glas VOS; HESA®Glas HESAlite). Double-component cells are made of spincoated PMMA (MicroChem 950k PMMA A11; AllResist GmbH 950k PMMA A9) that is micro structured on glass substrates prior to sealing with a cover plate. PMMA enables high resolution direct lithographic patterning of the fluidic structures. We apply Deep UV Lithography (DUV) to photochemically degrade PMMA and subsequently dissolve the degraded areas in an organic solvent. This process had previously primarily been utilized to pattern polymer waveguides. For minimum feature size devices, initial samples have been fabricated applying Deep X-Ray Lithography (DXRL) instead of DUV. Final sealing with PMMA cover plates is performed using thermal and UV bonding or solvent welding.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».