A Wafer Level Vacuum Encapsulated Capacitive Accelerometer Fabricated in an Unmodified Commercial MEMS Process
Notice bibliographique
Résumé
We present the design and fabrication of a single axis low noise accelerometer in an unmodified commercial MicroElectroMechanical Systems (MEMS) process. The new microfabrication process, MEMS Integrated Design for Inertial Sensors (MIDIS), introduced by Teledyne DALSA Inc. allows wafer level vacuum encapsulation at 10 milliTorr which provides a high Quality factor and reduces noise interference on the MEMS sensor devices. The MIDIS process is based on high aspect ratio bulk micromachining of single-crystal silicon layer that is vacuum encapsulated between two other silicon handle wafers. The process includes sealed Through Silicon Vias (TSVs) for compact design and flip-chip integration with signal processing circuits. The proposed accelerometer design is sensitive to single-axis in-plane acceleration and uses a differential capacitance measurement. Over ±1 g measurement range, the measured sensitivity was 1 fF/g. The accelerometer system was designed to provide a detection resolution of 33 milli-g over the operational range of ±100 g.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».